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分享幾種超高真空系統

來源:東莞東歐真空

發布時間:2017/11/22 7:19:27

分享幾種超高真空系統
    在生活中,我們應該聽過真空的,那麼伱知道到底真空是什麼呢?真空系統又是什麼呢?那麼接下來,東歐将分享幾種超高的真空系統,一起來看看吧。
    第一:由擴散泵串聯擴散泵(中間泵),再串聯機械泵的真空系統。是一個超高真空系統和設備的結構圖。主泵是一個水銀擴散泵,泵頂有冷卻擋闆和液氮冷阱,中間泵也是水銀擴散泵。在中間泵和前級機械泵之間設有油蒸氣捕集器。并設有各種單獨的加熱器,烘烤真空室和主泵頂部及捕集器。該系統的特點是能獲得超高真空,并能穩定工作。
    第二:用擴散泵和钛泵并聯為主泵,擴散泵單獨串聯前級機械泵的真空系統。稱為鈉燈超高真空封接爐的系統。可以達到極限真空度為1.33×10-6Pa。
    第三:用低溫泵做為主泵,串聯或并聯分子篩吸附泵(預真空泵),構成無油超高真空系統。同樣也可以用機械泵做為預真空泵,在機械泵入口管道上設置油蒸氣捕集器。 
    第四:主泵為分子泵串聯機械泵的真空系統,該種超高真空系統,由于機械泵有油存在,需要在機械泵入口管道上設置捕集器冷凝油蒸氣。如果分子泵串聯分子篩吸附泵(前級泵),則構成了無油超高真空系統,該系統比較清潔。
    第五:用钛泵或濺射離子泵做為主泵。并聯或串聯分子篩吸附泵(做為預真空泵),構成無油超高真空系統。也可以用钛泵聯接預真空機械泵,但此時機械泵的入口管道上要加油蒸氣捕集器。   
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